Probe Station

Crisel Instruments propone un range completo di strumentazioni ed accessori per la realizzazione di stazioni sonda standard di Microxact che offrono un sondaggio affidabile e conveniente.

Manual Probe Stations

Mandrino XY motorizzato, piastra motorizzata in SPS-2600, movimento Z motorizzato del mandrino in SPS 2800 in configurazione standard. Il theta motorizzato è un’opzione.
Basato su motore passo-passo, senza encoder.
Molto competitivo in termini di costi
Altamente raccomandato in applicazioni in cui si desidera un test o una schermatura sotto gli0°C
Opzioni disponibili: mandrini riscaldati o raffreddati, cannocchiali zoom o microscopi composti, varie schermature, selezione dei mandrini per misurazioni DC e RF e molti altri

SISTEMI SEMIAUTOMATIZZATI STANDARD

I sistemi SPS-1000, SPS-2000 e SPS-2200 sono le principali stazioni di sonda manuale di MicroXact progettate per essere flessibili e facili da usare. L’alto livello di prestazioni e convenienza di questi sistemi di sonde manuali li mettono in una classe a sé stante.

Con capacità di wafer fino a 200 mm, sonde DC o RF e mandrino termico opzionale e una varietà di opzioni di schermatura, le nostre stazioni sonda possono essere utilizzate per l’ampia gamma di applicazioni, come l’analisi dei guasti, i test di affidabilità, i test IV/CV, i test a bassa corrente e la caratterizzazione a microonde e RF per citarne alcuni.

IV, CV e test a bassa corrente con le stazioni sonda manuali di MicroXact forniscono le misurazioni precise e accurate necessarie per la caratterizzazione dei dispositivi a semiconduttore. La capacità a livello di wafer e i test a bassa corrente sugli stampi non sono mai stati così facili grazie alla varietà di opzioni disponibili e alla flessibilità delle stazioni sonda manuali di MicroXact.

XactTest SOLUZIONE SOFTWARE PER L’AUTOMAZIONE DELLA Probe Station

I sistemi automatizzati sono guidati dal software della Probe Station XactTestTM di MicroXact. L’interfaccia è progettata per essere semplice e conveniente, consentendo agli utenti di impostare facilmente una procedura di test automatizzata per quasi tutti i tipi di dispositivo. La soluzione software XactTest basata su LabView è strutturata in modo logico e consente il controllo della sonda e una facile integrazione delle apparecchiature di prova e misurazione del cliente nell’ambito del software XactTestTM o utilizzando il suo ampio set di comandi SCPI. Per i proprietari di apparecchiature Tektronix e del software Keithley Automated Characterization Suite (ACS), è disponibile il driver per il software XactTestTM.

Probe Station ANALITICA SERIE LCS- 4000 CON SISTEMA DI TAGLIO LASER

La sonda LCS-4000 con sistema di taglio laser integrato offre all’utente la massima flessibilità nel taglio diagnostico dei semiconduttori, nell’analisi dei guasti, nel taglio, nella marcatura e nella rimozione dello strato superiore. Tutte queste funzioni possono essere eseguite a livello microscopico, tutte su questo sistema, che fornisce un alto livello di prestazioni che è notevolmente facile da usare.

Il sistema di taglio laser integrato può essere utilizzato per alterare i conduttori sui circuiti integrati gonfiando al laser cavi di contatto, strati sacrificali e altri materiali senza danneggiare gli interni del dispositivo. Questo processo di taglio laser consente la rimozione selettiva dello strato, come la rimozione dello strato superiore, e può aiutare nell’analisi dei guasti dei semiconduttori o per la messa a punto delle caratteristiche del dispositivo, come la resistenza, la capacità o le proprietà RF. Il sistema di taglio laser di MicroXact è anche in grado di isolare i componenti difettosi tagliando le linee metalliche che collegano il componente difettoso al resto del circuito. La logica pre-costruita include l’identificazione automatica dei dispositivi difettosi sul wafer e la cancellazione di questi dispositivi dal wafer completamente tramite l’ablazione.

L’LCS-4000 è offerto come sistema di configurazione motorizzato, semi-automatico o completamente automatizzato e può essere facilmente configurato per una vasta gamma di applicazioni con una varietà di opzioni di progettazione e accessori disponibili.

Probe Stations CRIOGENICA CON REFRIGerazione A CICLO CHIUSO

La stazione di sonda criogenica modello CPS-XXX-CF consente test a semiconduttori a bassa temperatura economici, stabili, affidabili e convenienti e persino test criogenici su scala wafer di dispositivi e circuiti. L’isolamento delle vibrazioni integrato, la gestione termica intelligente e la compensazione ingegneriizzata dell’espansione termica rendono questo sistema di stazioni sonda criogeniche ideale per una vasta gamma di applicazioni che vanno dalla nanoelettronica (ricerca sul grafene, elettronica molecolare, calcolo quantistico, ecc.) all’elettronica spaziale. Il sistema di stazioni di sonde criogeniche utilizza un frigorifero a ciclo chiuso e una gestione termica proprietaria, consentendo un funzionamento economico e veloce. Le stazioni di sonda criogenica di MicroXact hanno un isolamento delle vibrazioni integrato, riducendo al minimo le vibrazioni ai livelli standard del settore. Gli stadi micromanipolati ultra-stabili consentono un contatto accurato e riproducibile della punta della sonda sulle caratteristiche del dispositivo. Un’ampia selezione di sonde e mandrini wafer consente applicazioni che vanno dall’ultraprecisa, alle misurazioni in scala fA, alle misurazioni RF e molti altri. Una gamma di manipolatori di sonde e punte di sonda sono disponibili per l’uso con le stazioni di sonde criogeniche di MicroXact.

Probe Station MAGNETICA

I sistemi di sonde magnetiche MPS-C-300 e MPS-C-350 sono le prime stazioni di sonda al mondo in grado di fornire un controllo tridimensionale del campo magnetico attorno a un dispositivo in prova.

Il design davvero unico in attesa di brevetto di MicroXact consente test a livello di wafer di dispositivi spintronici, elettronica su scala nanometrica e molti altri materiali e dispositivi in cui sono richiesti campi magnetici per test e misurazioni accurati. I test degli oscillatori di rotazione e di coppia di rotazione, la simulazione magnetica e l’identificazione dell’anisotropia di strutture multistrato complesse sono solo alcuni esempi di applicazioni dei nostri sistemi MPS.

SISTEMI DI Probe STATION SOTTOVUOTO SEMIAUTOMATIZZATI

Le serie SPS-2600-VAC e SPS-2800-VAC sono sistemi di sonde a vuoto di MicroXact progettati per supportare il sondaggio motorizzato o semiautomatico fino a 100 mm o fino a 200 mm in un’atmosfera di gas controllata o a vuoto. Questa soluzione di test del vuoto è sistematica e precisa, economica, a basso rumore e comoda da usare. Questi sistemi di sonde a vuoto sono costruiti su una piattaforma versatile e compensata dalle vibrazioni in grado di essere configurata per gestire una vasta gamma di applicazioni di sondaggio. Ideali per test senza ghiaccio fino a 77K o per test ad alta temperatura di dispositivi e componenti inclini all’ossidazione, i sistemi di sonde a vuoto di MicroXact offrono un sondaggio a livello di wafer in ambiente controllato.

Probe Station AD ALTA TEMPERATURA

I modelli CPS-HT sono i sistemi di sonde ad alta temperatura di MicroXact per testare e caratterizzare i dispositivi alle temperature più elevate sul mercato sia sotto vuoto che in ambiente a gas controllato. Offriamo proiettori di wafer manuali per testare campioni fino a 2” x 2” (50 mm x 50 mm) e sistemi motorizzati o semiautomatici per testare wafer da 100 mm o più grandi. Questi sistemi sono in grado di testare i campioni fino a 700oC in vuoto o 650oC a pressione atmosferica.

Probe Stations CRIOMAGNETICHE

Le stazioni di sonda criomagnetiche di MicroXact sono disponibili con elettromagneti, magneti superconduttori o una combinazione di elettromagneti e magneti superconduttori. Tali sistemi sono utilizzati per test spintronici criogenici, test dell’oscillatore di coppia di rotazione, effetto Hall, test di effetto Hall quantistico e molti altri.

Probe Station PER WAFER PERSONALIZZATA

MicroXact ha una storia di lavoro con i clienti per sviluppare soluzioni di sondaggio specifiche per l’applicazione e altamente personalizzate per soddisfare le esigenze in continua evoluzione, tra cui intervalli di temperatura estesi e integrazione di ottiche personalizzate. Ci impegniamo a trovare soluzioni che ti aiutino a ridurre il costo del test.

A4P SISTEMA DI MAPPATURA DELLA RESISTIVITÀ AUTOMATIZZATA CON SONDE A QUATTRO PUNTI

I mappatori di resistività dei wafer serie A4P utilizzano standard industriali comprovati per fornire misurazioni rapide, accurate e affidabili della distribuzione della resistività del campione. Le sonde a quattro punti di MicroXact misurano la resistenza media dei wafer di strati a semiconduttore passando la corrente attraverso i punti esterni di una sonda a quattro punti e misurando la tensione attraverso i punti interni. Il valore della resistività, la proprietà del materiale che gli conferisce resistenza elettrica, può quindi essere trovato moltiplicando la resistenza del foglio per lo spessore di un film.

ACCESSORI

Microposizionatori

Disponibili con una qualsiasi delle stazioni sonda di MicroXact sono una vasta gamma di micropositori progettati per rendere il posizionamento di precisione e l’allineamento delle punte della sonda facile e affidabile.

Test Termici

Per le applicazioni in cui la temperatura è fondamentale per misurazioni accurate, offriamo diversi sistemi di mandrini termici.

Wafer Chucks

Gli accessori per la prova dei wafer Chuck sono personalizzati per ogni stazione sonda. Le dimensioni standard vanno da 100 mm a 300 mm.

Microscopi

La maggior parte dei nostri sistemi è dotata di serie di un microscopio stereo zoom ad alta ingrandimento, tuttavia sono disponibili diverse altre opzioni.

SORGENTI DI ILLUMINAZIONE E SISTEMI AD OTTURATORE

MicroXact può fornire una vasta gamma di illuminatori per microscopio per una varietà di applicazioni e budget diversi. Produciamo anche un sistema di otturatore controllato da computer per misurazioni fotosensibili, che si integrano facilmente con qualsiasi stazione sonda.

DC Probe Arms & Tips

MicroXact offre un’ampia varietà di bracci e punte della sonda DC progettati per gestire la maggior parte delle applicazioni di sondaggio DC.

TAGLIERINA AD Ultrasoni

La nostra taglierina ad ultrasuoni offre una soluzione conveniente per il taglio dei contatti.

SONDE RF

Abbiamo molte opzioni per le misurazioni RF ad alta velocità. Le sonde RF personalizzate in base alle tue esigenze esatte sono disponibili per frequenze fino a 110 GHz.

TELECAMERE

Tutti i microscopi includono una finestra per le telecamere. Offriamo fotocamere digitali compatibili con montaggio a cannocchiale che vanno da 1 megapixel a 10 megapixel. Incluso con la fotocamera è il software per l’acquisizione di immagini e video, nonché la capacità di misurazione delle dimensioni.

SCHERMATURA

Offriamo sistemi di schermatura compatibili con tutte le stazioni sonda standard MicroXact (modelli SPS). I sistemi di schermatura sono progettati per proteggere il campione o il wafer da EMI e RFI durante i test.