SE-2000-IR Spectroscopic Ellipsometer (IR)
La spettroscopia ellissometrica in trasformata di Fourier (SE) è tradizionalmente utilizzata nella regione dello spettro UV/visibile/infrarosso prossimo (190-25000 nm) per la metrologia di precisione degli spessori di strati, degli indici di rifrazione e delle concentrazioni di lega. SEMILAB ha proposto uno spettroscopio ellissometrico in trasformata di Fourier per lo spettro infrarosso (SE-2000-IR) per la ricerca e lo sviluppo. La regione infrarossa è interessante, perché in molti casi possono essere rilevati i limiti di assorbimento legati alla composizione chimica del campione. Le informazioni sugli spessori possono essere ottenute anche dalla regione infrarossa grazie alle frange di interferenza come nella regione UV-visibile. Inoltre, la concentrazione di portatori liberi influisce sul coefficiente di assorbimento nella gamma infrarossa, fornendo un modo non distruttivo per misurare questo parametro utilizzando la coda di Drude.
SE-1000 Spectroscopic Ellipsometer – Tabletop Manual System
Il SE-1000 offre modularità e elevate prestazioni di misurazione in versione compatta da banco. Questo strumento economico include un goniometro manuale e un posizionamento manuale del campione adatti per i laboratori di ricerca e sviluppo. Esegue misurazioni ottiche senza contatto e non distruttive su substrati, campioni a singolo strato e multi-strato per ottenere spessori di film sottili e proprietà ottiche individuali. Il SE-1000 include l’elettronica intelligente di Semilab con componenti intercambiabili e funziona con un software di controllo e analisi di nuova generazione (SAM / SEA). Il sistema può essere controllato da un PC o laptop tramite rete LAN o tramite un’interfaccia touch panel.
inSE-1000 In-Situ Spectroscopic Ellipsometer
Il nuovo sistema di misurazione dello spessore in-situ, inSE-1000, fornisce accesso istantaneo agli spessori dei layer e alle proprietà ottiche attraverso l’analisi spettrale ellissometrica durante i processi di deposizione di layer nelle camere a vuoto.
inSE-1000 fa parte della famiglia di strumenti ellissometrici di Semilab appositamente progettati per le misurazioni nelle camere a vuoto durante i processi di deposizione o trattamento. Le braccia facilmente montabili possono essere posizionate sulla camera a vuoto o su un banco di prova offline per un’indagine dettagliata del prodotto finale. I componenti elettronici e i sistemi supplementari sono situati in un rack, che può essere posizionato accanto allo strumento di deposizione. L’interfaccia Ethernet consente una sequenza di misurazione su richiesta con lo strumento di deposizione e il protocollo di comunicazione bidirezionale.
Deep Level Transient Spectroscopy
Il DLS-1100 è un sistema DLTS di fascia alta progettato per ambienti di produzione e R&S nel settore dei semiconduttori. Dotato di un criostato esterno per un controllo preciso della temperatura, offre sensibilità di prim’ordine, automazione completa e personalizzazione avanzata — l’ideale per laboratori di produzione, fonderie (foundries) e strutture di ricerca ad elevata produttività (high-throughput).
Resistivity Measurement
Strumenti di misura manuali (e automatici) a quattro punte a contatto, progettati per la misurazione precisa di resistività, resistenza di strato dell’emettitore e densità di drogaggio in wafer di semiconduttori, film sottili e celle solari. Sono ampiamente utilizzati nei settori di R&S del fotovoltaico (PV) e dei semiconduttori come tecnica di riferimento standard del settore.
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FEDERICO MOCHI
Physical Science Application Specialist
