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Caratterizzazione di Film Sottili

Spectroscopic Ellipsometer

SE-2000-IR Spectroscopic Ellipsometer (IR)

La spettroscopia ellissometrica in trasformata di Fourier (SE) è tradizionalmente utilizzata nella regione dello spettro UV/visibile/infrarosso prossimo (190-25000 nm) per la metrologia di precisione degli spessori di strati, degli indici di rifrazione e delle concentrazioni di lega. SEMILAB ha proposto uno spettroscopio ellissometrico in trasformata di Fourier per lo spettro infrarosso (SE-2000-IR) per la ricerca e lo sviluppo. La regione infrarossa è interessante, perché in molti casi possono essere rilevati i limiti di assorbimento legati alla composizione chimica del campione. Le informazioni sugli spessori possono essere ottenute anche dalla regione infrarossa grazie alle frange di interferenza come nella regione UV-visibile. Inoltre, la concentrazione di portatori liberi influisce sul coefficiente di assorbimento nella gamma infrarossa, fornendo un modo non distruttivo per misurare questo parametro utilizzando la coda di Drude.

SE 1000 Elissometro

SE-1000 Spectroscopic Ellipsometer – Tabletop Manual System

Il SE-1000 offre modularità e elevate prestazioni di misurazione in versione compatta da banco. Questo strumento economico include un goniometro manuale e un posizionamento manuale del campione adatti per i laboratori di ricerca e sviluppo. Esegue misurazioni ottiche senza contatto e non distruttive su substrati, campioni a singolo strato e multi-strato per ottenere spessori di film sottili e proprietà ottiche individuali. Il SE-1000 include l’elettronica intelligente di Semilab con componenti intercambiabili e funziona con un software di controllo e analisi di nuova generazione (SAM / SEA). Il sistema può essere controllato da un PC o laptop tramite rete LAN o tramite un’interfaccia touch panel.

inSE-1000 In-Situ Spectroscopic Ellipsometer

inSE-1000 In-Situ Spectroscopic Ellipsometer

Il nuovo sistema di misurazione dello spessore in-situ, inSE-1000, fornisce accesso istantaneo agli spessori dei layer e alle proprietà ottiche attraverso l’analisi spettrale ellissometrica durante i processi di deposizione di layer nelle camere a vuoto.
inSE-1000 fa parte della famiglia di strumenti ellissometrici di Semilab appositamente progettati per le misurazioni nelle camere a vuoto durante i processi di deposizione o trattamento. Le braccia facilmente montabili possono essere posizionate sulla camera a vuoto o su un banco di prova offline per un’indagine dettagliata del prodotto finale. I componenti elettronici e i sistemi supplementari sono situati in un rack, che può essere posizionato accanto allo strumento di deposizione. L’interfaccia Ethernet consente una sequenza di misurazione su richiesta con lo strumento di deposizione e il protocollo di comunicazione bidirezionale.

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Federico Mochi - Crisel Instrumens

FEDERICO MOCHI

Physical Science Application Specialist