Misurazione della Resistività per semi isolanti

La conoscenza dell’uniformità dei valori di resistività e mobilità è fondamentale per ottenere l’ottimizzazione del processo.

Un circuito di misurazione capacitivo misura l’impedenza attraverso un circuito oscillante. Poiché un condensatore è un’interruzione efficace in un circuito all’interno di un ambiente a corrente continua, la carica si accumula sulle piastre del condensatore, causando uno squilibrio di carica e successivamente il sistema si stabilizza.

I sistemi COREMA di Semilab sono basati su una tecnica di capacitività senza contatto utilizzata per la caratterizzazione precisa della resistività dei semiconduttori compositi semi-isolanti su un’ampia gamma di resistività, utile per l’industria manifatturiera di dispositivi.

 Per i seguenti campi applicativi i principali materiali misurabili sono:

 Resistività del substrato semiconduttore composito (CS):

GaAs – RF, Optoelettronica/Fotonica

InP – Optoelettronica/Elettronica ad alta velocità/Fotonica, Fotovoltaico

SiC – RF, Elettronica ad alta potenza

Dipendenza dalla temperatura della resistività del semiconduttore composito (CS):

SiC, GaN, Cd